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光谱能谱分析
X射线光电子能谱(XPS)是分析物质表面化学性质的一项技术，也作为电子材料与元器件显微分析中的一种先进分析技术，可测量材料中元素组成、经验公式、元素化学态和电子态，常常和俄歇电子能谱（AES)配合使用
服务范围
X射线光电子能谱(XPS)是分析物质表面化学性质的一项技术，也作为电子材料与元器件显微分析中的一种先进分析技术，可测量材料中元素组成、经验公式、元素化学态和电子态，常常和俄歇电子能谱（AES)配合使用。
由于他可以比俄歇电子能谱技术更准确地测量原子的内层电子束缚能及其化学位移，所以它不但为化学研究提供分子结构和原子价态方面的信息，还能为电子材料研究提供各种化合物的元素组成和含量、化学状态、分子结构、化学键方面的信息。
测试项目：
能谱分析。
测试目的：
定性或定量的对试样微区的元素含量和元素组成进行分析。
项目介绍：
当一种高能量电子束作用到一个试样上时会产生X射线，这种X射线随着试样中不同的化学组成（原子类别）特征而具有不同的能量（波长），每种元素的X射线强度与该元素在试样中的含量相关。本测试正是通过能谱法来检测这些特征X射线的强度来得到元素的组成和含量，能谱分析的特点，分析速度快。
测试要求：
测试标准 | 标准名称 | 样品要求 | 测试内容 | 适用范围 |
|---|---|---|---|---|
GB/T 17359-2012 | 微束分析-能谱法定量分析 | 分析材料应在变化压力下和电子束轰击下稳定。样品测试表面应平整无污染。 | 测定元素含量 | 质量分数高于1%的元素；分析原子序数大于10的元素分析置信度更高 |
ASTM E1508-2012a(2019) | 能谱法定量分析指南 | 分析材料应在变化压力下和电子束轰击下稳定。样品测试表面应平整无污染。 | EDS测定单质浓度 | 元素含量高于或等于0.1%时分析更快更准确 |
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